崗位職責(zé):
1.工藝研發(fā)與優(yōu)化:負(fù)責(zé)不同節(jié)點(diǎn)CVD工藝的研發(fā)工作,解決工藝問(wèn)題,提升薄膜的性能和質(zhì)量;
2.測(cè)試與改善:制定CVD工藝測(cè)試方案、設(shè)計(jì)DOE實(shí)驗(yàn)并負(fù)責(zé)實(shí)施,對(duì)現(xiàn)有工藝進(jìn)行改善,提升產(chǎn)品性能、良率及可靠性;
3.異常處理:針對(duì)機(jī)臺(tái)或工藝參數(shù)對(duì)相關(guān)工藝引起異常進(jìn)行trouble shooting,找出問(wèn)題根源并提供解決方案;
4.新設(shè)備物料導(dǎo)入驗(yàn)證:對(duì)不同機(jī)臺(tái)與源物料導(dǎo)入進(jìn)行評(píng)估驗(yàn)證,與廠商合作并提出有效及時(shí)的需求;
5.量產(chǎn)支持:主導(dǎo)新工藝從研發(fā)階段向量產(chǎn)線的轉(zhuǎn)移與穩(wěn)定性驗(yàn)證; 編寫工藝規(guī)范(Spec)、操作指南(SOP)及其他量產(chǎn)轉(zhuǎn)移所需文檔;
6.跨部門協(xié)作:與設(shè)備工程師、整合工程師、質(zhì)量團(tuán)隊(duì)密切合作,確保工藝符合產(chǎn)品設(shè)計(jì)需求;
任職要求:
1.專業(yè)背景:材料,物理,化學(xué),電子,微電子等相關(guān)專業(yè)碩士及以上學(xué)歷
2.工作經(jīng)驗(yàn):具備3年以上fab廠Dielectric CVD,PECVD,ALD,Gap-Fill CVD制程工作經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先;
3.技能要求:熟悉半導(dǎo)體制造基礎(chǔ)知識(shí)和薄膜相關(guān)制程,了解業(yè)界主流薄膜設(shè)備及其性能,熟悉設(shè)備參數(shù)和工藝參數(shù)相關(guān)性;熟悉XPS/XRD/FTIR/XRR等相關(guān)材料表征原理,熟悉JMP等DOE軟件進(jìn)行正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)。
4.能力素質(zhì):具備良好的邏輯分析能力和書面表達(dá)能力,能獨(dú)立分析和處理問(wèn)題,有良好的團(tuán)隊(duì)協(xié)作和溝通能力,有良好英文閱讀和書寫能力。