職位描述
蝕刻工藝離子注入工藝磁控濺射工藝單晶加工工藝鍵合工藝電鍍工藝電子/半導(dǎo)體/集成電路
崗位職責(zé)
1. 負(fù)責(zé)干法刻蝕（RIE、ICP-RIE、IBE等）設(shè)備的日常維護(hù)、工藝調(diào)試及優(yōu)化，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
2. 制定并優(yōu)化干法刻蝕工藝方案，提高刻蝕速率、均勻性、選擇比等關(guān)鍵指標(biāo)。
3. 分析刻蝕過程中的問題（如側(cè)壁形貌、殘留物、負(fù)載效應(yīng)等），并提出解決方案。
4. 配合研發(fā)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行新材料、新結(jié)構(gòu)的刻蝕工藝開發(fā)，滿足產(chǎn)品需求。
5. 編寫工藝文件、操作規(guī)范，并對相關(guān)人員進(jìn)行培訓(xùn)。
6. 跟蹤行業(yè)先進(jìn)技術(shù)，推動干法刻蝕工藝的持續(xù)改進(jìn)和創(chuàng)新。
任職要求
1. 學(xué)歷要求：本科及以上學(xué)歷，微電子、材料科學(xué)、物理、化學(xué)工程等相關(guān)專業(yè)。
2. 工作經(jīng)驗(yàn)：
3年以上干法刻蝕工藝開發(fā)或設(shè)備維護(hù)經(jīng)驗(yàn)，熟悉RIE、ICP-RIE、IBE等干法刻蝕設(shè)備。
熟悉Si、SiO?、Si?N?、金屬（Al、Cu、Au、Ti、Cr、W等）、化合物半導(dǎo)體（GaAs、GaN等）及TSV通孔刻蝕工藝。
3. 技能要求：
熟悉干法刻蝕原理及工藝參數(shù)（氣體流量、功率、壓力、偏置電壓等）對刻蝕效果的影響。
能夠獨(dú)立進(jìn)行DOE（實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)）和數(shù)據(jù)分析，優(yōu)化刻蝕工藝。
具備故障排查能力，能解決刻蝕過程中的異常問題（如微負(fù)載效應(yīng)、刻蝕殘留等）。
能分析刻蝕后的表面形貌和關(guān)鍵尺寸。
4. 優(yōu)先考慮：
有半導(dǎo)體制造、MEMS、LED、功率器件等領(lǐng)域干法刻蝕經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先。
5. 個(gè)人素質(zhì)：
良好的團(tuán)隊(duì)協(xié)作能力和溝通能力，能適應(yīng)跨部門合作。
責(zé)任心強(qiáng)，具備較強(qiáng)的分析和解決問題的能力。
工作地點(diǎn)
坪山區(qū)深圳清華大學(xué)研究院超滑技術(shù)研究所
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職位發(fā)布者
李金金/hr
昨日活躍立即溝通
深圳清力技術(shù)有限公司清華大學(xué)研究院超滑技術(shù)研究所------自超滑技術(shù)創(chuàng)新平臺研究所簡介深圳清華大學(xué)研究院超滑技術(shù)研究所（超滑所）是專注于自超滑技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的創(chuàng)新機(jī)構(gòu)，由深圳市政府、坪山區(qū)政府與清華大學(xué)聯(lián)合共建。依托深圳市“雙區(qū)”優(yōu)勢及高水平科研資源，超滑所致力于打造超滑技術(shù)研發(fā)中心，推動顛覆性技術(shù)從理論到產(chǎn)業(yè)的跨越，助力深圳成為創(chuàng)新高地。核心優(yōu)勢與使命源頭自創(chuàng)顛覆性技術(shù)------自超滑（Self Superlubricity）定義：接觸界面零磨損、近零摩擦的極限狀態(tài)，突破微納尺度運(yùn)動技術(shù)瓶頸。價(jià)值：解決傳統(tǒng)MEMS、微能源、精密器件等領(lǐng)域能耗與壽命難題，為第四次工業(yè)革命（微觀機(jī)電融合）提供戰(zhàn)略支點(diǎn)。成果：成功實(shí)現(xiàn)大氣環(huán)境下微米級自超滑技術(shù)，研發(fā)成果入選國家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)。團(tuán)隊(duì)在自超滑領(lǐng)域的研究成果占該領(lǐng)域文獻(xiàn)總量的5.48%，近半數(shù)（47.89%）發(fā)表于國際權(quán)威期刊；已獲國內(nèi)外近200項(xiàng)專利。戰(zhàn)略方向------超滑微系統(tǒng)（Supersliding Microsystems, SMS）聚焦微發(fā)電機(jī)、MEMS開關(guān)、精密軸承、下一代存儲等前沿領(lǐng)域，打造高能效、零磨損、長壽命的顛覆性產(chǎn)品集群。團(tuán)隊(duì)與資源核心成員：鄭泉水院士領(lǐng)銜（中科院院士、國家自然科學(xué)獎(jiǎng)獲得者），團(tuán)隊(duì)匯聚清華優(yōu)秀科研人員及國際知名科學(xué)家顧問（含多國院士、IEEE Fellow等）?？蒲衅脚_：近3000㎡高標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室（含百級、千級潔凈區(qū)1000㎡），配備200余臺先進(jìn)設(shè)備（光刻、刻蝕、封裝、超滑專用設(shè)備等）。自主開發(fā)先進(jìn)的自超滑MEMS/NEMS工藝鏈，支持從研發(fā)到量產(chǎn)的全周期需求。產(chǎn)業(yè)化支撐：孵化企業(yè)“深圳清力技術(shù)有限公司”，打通技術(shù)商業(yè)化路徑，與華為、國際知名高校及產(chǎn)業(yè)伙伴深度合作。招聘需求崗位方向：自超滑底層技術(shù)研發(fā)（材料、界面力學(xué)、微納制造）超滑微系統(tǒng)應(yīng)用開發(fā)（MEMS、微能源、傳感器、光學(xué)器件）產(chǎn)業(yè)化技術(shù)轉(zhuǎn)化與戰(zhàn)略管理我們提供：高水平科研資源：先進(jìn)設(shè)備、跨學(xué)科團(tuán)隊(duì)、國際化學(xué)術(shù)網(wǎng)絡(luò)。產(chǎn)業(yè)化通道：清華系孵化平臺、政府政策與資本支持、產(chǎn)業(yè)鏈深度協(xié)同。人才激勵(lì)：具有競爭力的薪酬、股權(quán)激勵(lì)、鵬城孔雀計(jì)劃等政策支持。發(fā)展空間：主導(dǎo)顛覆性技術(shù)從0到1的突破，參與定義未來產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。加入我們?nèi)裟涸谖⒓{技術(shù)、材料科學(xué)、機(jī)械電子等領(lǐng)域具有深厚學(xué)術(shù)或產(chǎn)業(yè)背景；渴望挑戰(zhàn)全球性技術(shù)難題，推動行業(yè)進(jìn)步；追求卓越，愿與優(yōu)秀團(tuán)隊(duì)共創(chuàng)未來；超滑所------以零摩擦，啟無限可能。期待您成為改變世界的重要力量！
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